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等離子鞘層


等離子鞘層是等離子體的重要特征,表征了等離子的電位分布和靜電場效應(yīng)。以電容耦合式等離子為例,帶電粒子(電子、離子)在電場作用下向基板運動,由于電子質(zhì)量輕、移動速度快,一部分電子到達基板后,與正離子結(jié)合成氣體分子,剩下的部分在基板附近形成了負(fù)電荷區(qū),負(fù)電荷區(qū)吸引正離子,排斥電子,當(dāng)正離子和電子移動的速度相同后,在基板附近就形成了一定區(qū)域的負(fù)電位,稱之為“等離子鞘層”。
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