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等離子診斷

等離子體診斷指的是通過光、電、磁等各種手段，對等離子體中的各種物理、化學(xué)過程進行監(jiān)測與分析。等離子體診斷使人們對等離子體的理解更加深入，從而更好地控制并應(yīng)用等離子體。

根據(jù)是否與等離子體接觸，等離子體診斷可分為侵入式與非侵入式兩種。根據(jù)測量對象的不同，可分為電學(xué)、光學(xué)、粒子診斷等。電學(xué)診斷中靜電探針是最為常見的診斷方法。發(fā)射光譜(OES)是一種非侵入性的診斷方法，非常適合等離子體的原位診斷。等離子體質(zhì)譜技術(shù)也可以用于粒子種類與能量的分析。隨著等離子體診斷技術(shù)的不斷發(fā)展，各種新型診斷手段得到相繼應(yīng)用，如Thomson散射、激光誘導(dǎo)熒光(LIF)等山。不同的診斷手段表征等離子體的不同特性。在低溫低氣壓放電等離子體中，靜電探針與OES是兩種廣泛使用的方法。